技術參數
產品名稱
結構式
吸收波長
特性
應用
下載
TR-B601
/
重均分子量:8000-15000
分子量分佈:<1.8
水分:<0.5%
殘留單體:<1.0%
單個金屬離子:<50ppb
組成:HS=60-70%,ST=10-25%
TBA=5-20%
KrF光刻膠聚合物PHS樹脂